灭弧性能的高低直接影响高压真空开关的性能。一般来说，高压真空灭弧室的主要组成部分为动静触头、屏蔽罩、波纹管及外壳等。以及截流值要低。但从目前材料技术的发展现况来看，还没有一种触头材料能同时满足这些要求。
常用的真空开关的触头材料有钨基、钼基、铜铋、铜铬（CuCr）等。常规的高压真空开关一般采用CuCr合金触头为主体，在具体应用时常根据不同的需要，调整触头材料中CuCr合金的配比，配比范围一般在CuCr25～Cu-Cr50范围左右。